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半導(dǎo)體材料微結(jié)構(gòu)分析與評(píng)價(jià)

簡(jiǎn)要描述:廣電計(jì)量提供半導(dǎo)體材料微結(jié)構(gòu)分析與評(píng)價(jià)服務(wù),提供半導(dǎo)體材料元素成分分析,結(jié)構(gòu)分析,微觀形貌分析測(cè)試服務(wù),CNAS資質(zhì)認(rèn)可,幫助客戶全面了解半導(dǎo)體材料理化特性.

  • 廠商性質(zhì):工程商
  • 更新時(shí)間:2024-11-06
  • 訪問(wèn)次數(shù):1056

詳細(xì)介紹

品牌廣電計(jì)量服務(wù)范圍全國(guó)
服務(wù)周期常規(guī)5-7個(gè)工作日服務(wù)資質(zhì)CMA/CNAS
服務(wù)費(fèi)用視具體項(xiàng)目而定

服務(wù)范圍

廣電計(jì)量提供半導(dǎo)體材料微結(jié)構(gòu)分析與評(píng)價(jià)服務(wù)范圍:半導(dǎo)體材料、有機(jī)小分子材料、高分子材料、有機(jī)/無(wú)機(jī)雜化材料、無(wú)機(jī)非金屬材料。

檢測(cè)項(xiàng)目

(1)半導(dǎo)體材料元素成分分析:EDS 元素分析,X 射線光電子能譜(XPS)元素分析;

(2)半導(dǎo)體材料分子結(jié)構(gòu)分析:FT-IR 紅外光譜分析,X 射線衍射(XRD)光譜分析,核磁共振波普分析(H1NMR、C13NMR);

(3)半導(dǎo)體材料微觀形貌分析:雙束聚焦離子束(DB FIB)切片分析,場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡(FESEM)微觀形貌量測(cè)與觀察,原子力顯微鏡(AFM)表面形貌觀察。

相關(guān)資質(zhì)

CNAS

服務(wù)背景

隨著大規(guī)模集成電路的不斷發(fā)展,芯片制程工藝日趨復(fù)雜,半導(dǎo)體材料微結(jié)構(gòu)及成分異常阻礙著芯片良率的提高,為半導(dǎo)體及集成電路新工藝的實(shí)施帶來(lái)了極大的挑戰(zhàn)。廣電計(jì)量提供半導(dǎo)體材料微結(jié)構(gòu)分析與評(píng)價(jià)服務(wù)。

我們的優(yōu)勢(shì)

(1)芯片晶圓級(jí)剖面制備及電子學(xué)分析,基于聚焦離子束技術(shù)(DB-FIB),對(duì)芯片局部區(qū)域進(jìn)行精確切割,并實(shí)時(shí)進(jìn)行電子學(xué)成像,可得到芯片剖面結(jié)構(gòu),成分等重要工藝信息;

(2)半導(dǎo)體制造相關(guān)材料理化特性分析,包括有機(jī)高分子材料、小分子材料、無(wú)機(jī)非?屬材料的成分分析、分子結(jié)構(gòu)分析等;

(3)半導(dǎo)體物料污染物分析方案的制定與實(shí)施。可幫助客戶全面了解污染物的理化特性,包括:化學(xué)成分組成分析、成分含量分析、分子結(jié)構(gòu)分析等物理與化學(xué)特性分析。

應(yīng)的衍射斑點(diǎn),其晶面間距有所不同;也就是說(shuō)雖然都是fcc結(jié)構(gòu),但是其晶格參數(shù)(fcc晶胞的a值)不同,表明其是不同的工藝所得。尤其是區(qū)域2(綠色框)和區(qū)域3(黃色框)的晶格參數(shù)差異,表明該裂紋是在不同工藝的Cu的界面產(chǎn)生。


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